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开云app 广州乐仪投资苦求具有高品性因数的压电启动硅基微机电谐振器专利,在全温畛域内取得低电学损耗
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发布日期:2026-02-14

国度学问产权局信息判辨,广州乐仪投资有限公司苦求一项名为“具有高品性因数的压电启动硅基微机电谐振器”的专利,公开号CN121508481A,苦求日历为2024年8月。
专利摘抄判辨,本发明具有高品性因数的压电启动硅基微机电谐振器,包括具有空腔的衬底硅层以及诞生在所述衬底硅层上掩盖所述空腔的振动膜层,所述振动膜层从下至上按序包括底电极层、压电层和顶电极层,所述底电极层从下至上按序包括器件硅层、介质层和第一金属层,所述介质层掩盖部分的器件硅层,所述第一金属层至少掩盖部分所述介质层,且所述第一金属层至少部分延长到介质层外侧,并掩盖至少部分所述器件硅层;本发明通过第一金属层掩盖所述介质层,开云app在线以登科一金属层包裹能够半包裹所述介质层的结构,使得本发明所述的压电启动硅基微机电谐振器在全温畛域内取得高品性因数Q值和低电学损耗,即低串联谐振阻抗。
天眼查良友判辨,广州乐仪投资有限公司,修复于2020年,位于广州市,是一家以从事商务做事业为主的企业。企业注册成本50万东说念主民币。通过天眼查大数据分析,广州乐仪投资有限公司专利信息33条,此外企业还领有行政许可6个。
声明:商场有风险,投资需严慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不组成个东说念主投资淡薄。
本文源自:商场资讯
作家:谍报员
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